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荧光光谱仪的灵敏度、精度及分析速度是至关重要
荧光光谱仪的分析方法是一个相对分析方法，任何制样过程和步骤必须有非常好的重复操作可能性，所以用于制作标准曲线的标准样品和分析样品必须经过同样的制样处理过程。X射线荧光实际上又是一个表面分析方法，激发只发生在试样的浅表面，必须注意分析面相对于整个样品是否有代表性。此外，荧光光谱仪样品的平均粒度和粒度分布是否有变化，样品中是否存在不均匀的多孔状态等。样品制备过程由于经过多步骤操作，还必须防止样品的损失和沾污。
在工业过程控制分析中，荧光光谱仪的灵敏度、精度及分析速度是至关重要的。SPECTROiQII在这一领域已建立了相应标准。的SPECTROiQII在此基础上进一步改进了技术，提高了操作简便性和可靠性。
在许多情况下，荧光光谱仪在测定主要成分的精度及重要痕量元素的灵敏度可以同价格昂贵的波长色散型X荧光光谱仪相媲美。以往只能用波长色散型X荧光光谱仪完成的分析任务，现在通过SPECTRO*的偏振能量色散型仪器即可地完成。
X射线是一种电磁辐射，其波长介于紫外线和Y射线之间。荧光光谱仪的波长没有一个严格界限，一般来说是指波长为0.001-50nm的电磁辐射。对分析化学家来说，感兴趣的波段是0.01-24nm，0.01nm左右是超铀元素的k系谱线。1923年赫维西（Hevesy.G.Von）提出了应用X射线荧光光谱进行定量分析，但由于受到当时探测技术水平的限制该法并未得到实际应用，直到20世纪40年代后期，随着X射线管、分光技术和半导体探测器技术的改进，X荧光分析才开始进入蓬勃发展的时期，成为一种极为重要分析手段。