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等离子体测量光谱仪的参数及应用

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AvaSpec PlasLine系列等离子体测量光谱仪基于Avantes公司的Avabench-75光学平台,采用模块化设计,可以配置成单通道、双通道、四通道或多通道(多10通道)。每个通道可以设置不同的积分时间或信号平均次数,且各通道同步采集。

AvaSpec PlasLine系列光谱仪有两种规格型号,AvaSpec-2048-x-USB2和AvaSpec-3648-x-USB2 (x代表通道数)。 可以实现波长范围200-1100nm、高分辨率0.1nm的等离子体光谱诊断。

AvaSpec-2048光谱仪可在接受外触发信号仅延迟1.3 µs后开始采样(时间抖动± 21 ns),也可发出TTL信号来触发脉冲激光器或高压脉冲电源,并可设置开始采样的时间延迟(-20 ns至89 sec,步长21 ns),适用于需要快速响应或时序控制的应用。

AvaSpec-3648光谱仪的像素数多,光谱分辨率相对AvaSpec-2048光谱仪提高了约30%,但灵敏度降低了50%。

的AvaSpec-USB2.0平台为多通道的应用提供了大可能的模块化。可以通过*的Stroe to RAM功能实现多通道高速同步测量,大采样频率可达900幅光谱/秒(仅AvaSpec-2048光谱仪)。

AvaSpec PlasLine系列等离子体测量光谱仪的应用非常广泛:
受控热核聚变(托卡马克); 
空间科学(等离子体推进技术); 
生化处理(等离子体灭菌); 
微电子与信息产业(芯片的蚀刻); 
材料合成与处理(等离子体沉积和刻蚀);
国防(等离子体隐身技术); 
应用(LIBS技术); 
工业(焊接工艺)

 

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